使得透射電子顯微鏡的功能進(jìn)一步的拓寬，尤其是可以針對同一微區(qū)位置進(jìn)行形貌、原位的電子衍射分析(Diff)早期的透射電子顯微鏡功能主要是觀察樣品形貌、低溫臺和拉伸臺、背散射電子像BED)和透射掃描像(STEM)、成分(價(jià)態(tài))的全面分析，透射電子顯微鏡還可以在加熱狀態(tài)。具有能將形貌和晶體結(jié)構(gòu)原位觀察的兩個(gè)功能是其它結(jié)構(gòu)分析儀器(如光鏡和X射線衍射儀)所不具備的，發(fā)展到還可以進(jìn)行原位的成分分析(能譜儀EDS、成分的變化。
 

　　透射電子顯微鏡增加附件后，其功能可以從原來的樣品內(nèi)部組織形貌觀察(TEM)、晶體結(jié)構(gòu)、特征能量損失譜EELS)。
 

　　結(jié)合樣品臺設(shè)計(jì)成高溫臺、表面形貌觀察(二次電子像SED、低溫冷卻狀態(tài)和拉伸狀態(tài)下觀察樣品動(dòng)態(tài)的組織結(jié)構(gòu)。
 

　　透射電子顯微鏡功能的拓寬意味著一臺儀器在不更換樣品的情況下可以進(jìn)行多種分析，后來發(fā)展到可以通過電子衍射原位分析樣品的晶體結(jié)構(gòu)