透射電鏡是一種高分辨率、高放大倍數(shù)的顯微鏡，是材料科學(xué)研究的重要手段，能提供極微細(xì)材料的組織結(jié)構(gòu)、晶體結(jié)構(gòu)和化學(xué)成分等方面的信息。透射電鏡的分辨率為0.1～0.2nm，放大倍數(shù)為幾萬～幾十萬倍。

　　透射電鏡樣品制備要求

　　透射電鏡制樣原則：

　?、俸?jiǎn)單。

　?、诓黄茐臉悠繁砻?，如：避免磨樣過程中產(chǎn)生的位錯(cuò)及離子減薄過程中產(chǎn)生的非晶現(xiàn)象等。

　?、郾M可能獲得大的薄區(qū)。

　　透射電鏡樣品要求：

　?、賹?duì)電子束透明(電子束穿透固體樣品的厚度主要取決于：加速電壓和樣品原子序數(shù))。

　?、诠腆w、干燥、無油、無磁性。

　　透射電鏡塊體樣品的制備方法：

　　1、離子減薄

　　特點(diǎn)：不受材料電性能的影響，即不管材料是否導(dǎo)電，金屬或非金屬或者二者混合物，不管材料結(jié)構(gòu)多復(fù)雜均可用此方法制備薄膜。

　　①樣品裁剪：將透射電鏡樣品沖壓成直徑3mm的圓片。

　　②研磨拋光：將透射電鏡樣品圓片用手動(dòng)研磨盤手動(dòng)研磨至厚度低于80微米的圓片。

　　③凹坑：凹坑儀單面凹坑至圓片ZX厚度為10-30微米。

　?、茈x子減薄：設(shè)置好離子槍角度、減薄時(shí)間、加速電壓將樣品減薄至出現(xiàn)足夠薄區(qū)。

　　2、電解雙噴

　　特點(diǎn)：受材料電性能的影響，只能用于金屬樣品，并且耗時(shí)短成本低。

　　①樣品裁剪：將透射電鏡樣品沖壓成直徑3mm的圓片。

　　②研磨拋光：將透射電鏡樣品圓片用手動(dòng)研磨盤手動(dòng)研磨至厚度低于100微米的圓片。

　　③凹坑：凹坑儀單面凹坑至圓片ZX厚度為10-30微米。

　?、茈娊怆p噴：設(shè)置好電解液、電壓、溫度將樣品減薄至出現(xiàn)足夠薄區(qū)。