透射電子顯微鏡(簡稱TEM),可以看到在光學(xué)下無法看清的小于0.2um的細(xì)微結(jié)構(gòu)，這些結(jié)構(gòu)稱為亞顯微結(jié)構(gòu)或超微結(jié)構(gòu)。要想看清這些結(jié)構(gòu)，就必須選擇更短的光源，以提高顯微鏡的分辨率。
 

　　1932年Ruska發(fā)明了以電子束為光源的透射電子顯微鏡，電子束的波長要比可見光和紫外光短得多，并且電子束的波長與發(fā)射電子束的平方根成反比，也就是說電壓越高波長越短。目前TEM的分辨力可達(dá)0.2nm。
 

　　透射電子顯微鏡解決方案在電子槍和聚光透鏡之間引入脈沖發(fā)生器，該脈沖發(fā)生器可通過皮秒級射頻電激發(fā)電子束并可保持原始掃描電鏡的光束質(zhì)量，并在脈沖發(fā)生器關(guān)閉時對正常操作的影響最小(理想情況下沒有)。
 

　　同時采用飛秒激光泵浦樣品聯(lián)動，該解決方案結(jié)合了脈沖發(fā)生器的百皮秒時間分辨率和透射電子顯微鏡的固有空間分辨率，可進(jìn)行超高時間和空間分辨的成像、微區(qū)衍射以及能譜分析，實現(xiàn)對樣品的超快表征。