二合一超快SEM解決方案

更新時(shí)間：2023-09-14

產(chǎn)品型號(hào)：Pico SEM B

簡要描述：二合一超快SEM解決方案Pico SEM B二合一超快掃描電鏡解決方案在FE 槍和聚光透鏡之間引入脈沖發(fā)生器，該脈沖發(fā)生器可通過皮秒級(jí)射頻電激發(fā)電子束并可保持原始掃描電鏡的光束質(zhì)量，并在脈沖發(fā)生器關(guān)閉時(shí)對(duì)正常操作的影響最?。ɡ硐肭闆r下沒有）。

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Pico SEM B二合一超快掃描電鏡解決方案在FE 槍和聚光透鏡之間引入脈沖發(fā)生器，該脈沖發(fā)生器可通過皮秒級(jí)射頻電激發(fā)電子束并可保持原始掃描電鏡的光束質(zhì)量，并在脈沖發(fā)生器關(guān)閉時(shí)對(duì)正常操作的影響最?。ɡ硐肭闆r下沒有）。同時(shí)采用飛秒激光泵浦樣品聯(lián)動(dòng)，該解決方案結(jié)合了脈沖發(fā)生器的百皮秒時(shí)間分辨率和掃描電子顯微鏡的固有空間分辨率，可進(jìn)行超高時(shí)間和空間分辨的掃描二次電子成像、背散射電子衍射等，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的超快表征。

特點(diǎn)：

• 百皮秒級(jí)射頻電激發(fā)電子束

• 飛秒激光泵浦樣品聯(lián)動(dòng)

規(guī)格：

• 能量范圍：2~30 keV

• 電子束頻閃率：15MHz~3GHz（電激發(fā)）

• 電子脈沖長度：100ps~period-100ps（電激發(fā)）

• 輻射安全

• 與 SEM 腔真空兼容

• 在電激發(fā)下保持 SEM 的原始固有空間分辨率。

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